臭氧发生器主要是经过接液氧或经空压机抽取空气后冷干吸附过滤除油除尘提纯后高压放电发生臭氧。气源的干燥度与洁净度直径影响臭氧产值，气源中水汽会影响臭氧产值及机器寿数，露点低作用好。臭氧由氧气电解发生，气源中氧气含量高发生的臭氧浓度也高。臭氧发生器气源经螺杆空压机，冷冻干燥机、吸附式干燥机、油水分离器、空气过滤器、储气罐处理后气源合格的目标为：

  c．杂质颗粒度：要杂质颗粒小于1m，最好能小于0.01m；

  e．压力：要求有必定的压力，一般要求0.1MPa以上，以确保臭氧发生器安稳作业并满意后级臭氧气体运送及投加的需求。

  空气压缩机选用全无油变频空压机，出气效率高、无需润滑油空气中不含油、噪音小，运转的本钱低。

  冷冻式干燥机是将饱满情况下的压缩空气降温冷凝除水，正常作业条件下可去除压缩空气中约80%的水分，气源可到达大气露点-40℃~-70℃左右，除水量大，能耗低，归于浅度除水，合作吸干满意臭氧放电要求。冷干机由氟压缩机、预冷器、蒸发器、热交换、冷凝器组成，作业时有用确保空气出口管路不结露、不滴水。

  选用了气体净化专用分子筛将饱满的压缩空气使用水分和空气分子体积之不同来过滤除压缩空气中的饱满水蒸汽，可容易的将水分子吸附在分子筛颗粒内，再使用再生方法来复原分子筛，其压缩空气点将可容易到达-40℃

  一般选用分级的方法，包含主管道过滤、除油过滤、除尘过滤等，确保进入吸附式干燥机的气源含油量0.01mg/m3，确保进入臭氧发生器的气源粉尘颗粒度小于0.01m。

  经过装置油水分离器能够去除99%以上的液态水。空气压缩体系能到达更高效的运转，下降保护本钱。

  空压机之后装置储气罐，不仅能贮存压缩空气，削减因为压缩机排气不接连发生的压力脉动，完成供气和用气的平衡，并且能下降压缩空气的温度，削减过过虑器和干燥剂的负荷。