10月30日，由《物流技术与应用》杂志主办的“洁净物流系统AMHS技术发展论坛”，再次在CeMAT ASIA 2025展会期间的创新沙龙区内举行。四位重量嘉宾发表精彩演讲，并围绕“协同创新推动AMHS国产化进程”进行热烈讨论。

  中国半导体产业持续加快速度进行发展。随技术进步、产能扩大、工艺增加，从前道的晶圆厂到后道的封测厂，慢慢的变多的半导体生产企业亟待进行物流自动化升级。AMHS（自动化物料搬运系统）作为贯穿整厂的物流大动脉，慢慢的变成为晶圆厂、封装测试工厂的标配，市场需求显著上升。中国AMHS企业加快脚步，不断实现AMHS技术创新与市场突围。

  权威物流媒体《物流技术与应用》2024年成功举办了国内首个针对洁净物流系统AMHS的专业论坛，受到高度关注。今年杂志社将该论坛主题定为“技术驱动洁净物流系统AMHS创新发展”，10月30日在CeMAT ASIA 2025展会创新沙龙区成功举办。

  本场论坛由《物流技术与应用》杂志副主编江宏主持，多位业内专家就半导体行业发展近况、AMHS技术趋势与国产化、AMHS核心部件技术发展等核心议题进行了演讲分享，并围绕“协同创新推动AMHS国产化进程”进行了深入对话。

  江宏副主编在开场致辞中说，半导体生产堪称最为复杂的制造系统之一，需要在高度洁净的无尘室中构建无缝连接生产与物流的高度自动化的生产体系。随着新能源汽车、光伏、5G等行业的快速地发展，特别是在人工智能技术快速迭代与应用的驱动下，中国对芯片的市场需求暴增。在大国博弈的时代背景下，中国格外的重视产业链供应链安全，近年来不断加大投入，半导体产业进入了技术突破与制造能力全方面提升的新发展阶段。国内企业通过持续研发技术，已经构建起完善的AMHS产品体系——涵盖OHT天车系统、Stocker晶圆存储立库、MCS物料控制管理系统等核心软硬件技术。杂志社举办本次论坛的目的是，打造AMHS技术交流平台，促进国内AMHS企业协同创新，更好地服务半导体产业发展。

  半导体行业是AMHS的主要应用场景，在对AMHS展开深度讨论之前，上海市集成电路行业协会发展研究部长刘林发首先发表演讲，他从全球芯片制造市场格局、中国大陆晶圆制造与封测市场现状、主要设备企业以及它技术创新三个方面展开，对半导体行业2025年全球发展现状及前景进行介绍。

  2025年全球芯片制造在2nm试产领域展开激烈的竞争，中国大陆市场开始吸引全球企业的目光，以中芯国际、华虹集团为代表的国产纯晶圆代工公司发展迅速，并形成晶圆制造厂“成熟制程与先进工艺双轨并行”“特色工艺平台深度垂直整合”“汽车电子技术为技术攻关主战场”的三大技术特征。封测业技术发展呈现出Chiple技术产业化落地、汽车电子闭环能力构建、新型基板技术突破、热管理技术革新、广电共封技术兴起等五大趋势。

  刘林发谈到，中国在半导体生产设备领域挑战和机遇同在。2024年中国半导体设备市场规模近500亿美元，约占全球市场占有率的50%。随着中国半导体设备企业加大投入研发技术，中国对相关设备的进口量会降低，显示出“国产替代”已经站上风口。

  苏州新施诺半导体设备有限公司总经理王宏玉，拥有30余年物流自动化行业经验，曾主导新松机器人AGV技术自主研发，打破国外垄断。他以“AMHS国产化挑战与破局之路”为主题进行演讲。

  据介绍，全球半导体产业先后经历了美国和日本主导、韩国超越、中国台湾崛起和中国大陆加速四个发展阶段。在美国推行“芯片法案”后，中国为了规避“卡脖子”风险，加速推动半导体产业高质量发展，2023年中国大陆晶圆产能占全球19%，预计2025年将达24%（超过韩国）。这为国内AMHS市场带来了巨大的增量空间。同时，AI、数字孪生、智能运维、新材料等技术进步，也带来AMHS升级发展新机遇。

  国内AMHS企业虽然发展较为迅速，但仍面临多重挑战：一是半导体产品与投资的高价值决定了其对AMHS的高要求，体现在高效率、高洁净、对良率与效率的高敏感度；二是技术壁垒高，AMHS作为整厂部署的高复杂系统的导入风险高，部分设备宕机的影响巨大；三是国内人才短缺及供应链“困境”（如价格高、响应慢）。

  王宏玉表示，国内AMHS企业要想实现“破局”，打破国外企业的长期市场垄断，应该“聚焦和突破”：集中优势资源在关键痛点和新兴领域进行技术突破，包括OHT轻量化设计、控制器、操作系统等几个关键点进行深耕，逐步建立国产AMHS的比较优势。他建议行业企业以开放、合作、生态共建为原则，建立供应链联盟，在零部件国产化、人才教育培训等方面加强合作，实现共享资源、共担风险、共同验证，加快推进AMHS国产化。

  北京因泰立科技有限公司首席技术官黄鑫针对半导体行业传感器全方位应用进行了深入分析。他说，当前AMHS中的OHT天车避障雷达70%~80%的市场占有率由国外品牌占据，导致产品价格高、供货周期长、定制化响应迟缓三大问题。例如在技术方面，主流产品的40Hz的扫描频率，已难以完全满足新一代高速天车对实时性的极致要求。

  黄鑫重点介绍了因泰立的产品——F80的性能特点，并将其与目前行业主流方案进行了对比，强调了产品研制要注重稳定性、精准性、适应性。

  深圳市汇川技术股份有限公司半导体行业总工程师江汉贤围绕AMHS核心部件关键技术发展进行分享。汇川在半导体产业中既是用户也是供应商：作为用户，半导体器件是汇川公司占比最大的核心零部件；作为供应商，以AMHS领域为例，汇川提供半导体生产车间工厂架构规划与AMHS设备方案架构、工业实时无线技术方案、运动控制产品等。

  江汉贤重点介绍了汇川在AMHS运控技术方面的研发成果。如，针对AMHS使用WIFI技术存在信号稳定性差、容易受到电磁干扰、通讯周期长同步精度低、组网复杂、安全不足等问题，汇川首创了INO AIR实时工业无线解决方案，化繁为简，提升了系统的实时性、可靠性、确定性、易用性。

  在本次沙龙的后半程，一场聚焦AMHS协同创新与国产化突围的对话将论坛话题引向深入。在《物流技术与应用》杂志副主编江宏的主持下，新施诺半导体设备有限公司总经理王宏玉、成川科技（苏州）有限公司总经理顾晓勇、深圳市汇川技术股份有限公司半导体行业总工程师江汉贤、北京因泰立科技有限公司总经理高东峰，畅谈AMHS技术趋势，分享研发突破心得，共谋供应链协同创新，为AMHS国产化与市场突围建言献策。

  在对话环节，苏州新施诺半导体设备有限公司总经理王宏玉率先发言：“作为国产供应链的重要参与方，新施诺始终秉持以技术实力与服务品质赢得市场认可。”一方面，新施诺大力推动局部创新，重点开展核心部件的自主研发与关键组件的国产化替代；另一方面，持续优化局部总成，不断的提高AMHS集成度与整体性能表现。为在产品交付阶段提供更高级别的安全保障与运行稳定性，新施诺正积极打造一个开放、可靠的公共试验平台，通过全面严谨的环境验证，夯实产品可靠性基础。据介绍，

  ，将实现全部国产化，这款在苏州制造的新一代天车，将成为公司2026年后的主打产品。王宏玉同时指出，在当前国内综合成本持续上升的背景下，企业一定清醒认识到，创新研发尤其需要长期、稳定的资源投入作为支撑。“创新是有代价的，产业链的韧性与安全需要上下游共同守护。只有用户给予信任与机会，供应商才能不断突破，提供更优质的产品与服务。”他说。成川科技（苏州）有限公司总经理顾晓勇表示，成川科技核心团队拥有超过十年的行业积淀，保障了技术路线的快速、持续发展，已在先进封测领域树立了创新产品与解决方案的一马当先的优势，并在稳步向晶圆制造领域拓展。

  回顾成川科技AMHS的技术研发之路，顾晓勇认为主要聚焦在以下三个核心层面：

  保障晶圆在传输过程中“不掉、不撞”是根本要求，这依赖于整个AMHS系统架构与软硬件的深度协同与一体化设计。

  第二，可靠性是核心诉求。通过对大量技术细节的长期打磨与对工程方案的持续迭代优化，成川科技已成功将MTBF（平均无故障时间）指标已提升至最高40小时。

  第三，效率是未来的竞争焦点。如何通过先进的路径规划与算法优化，以最精简的运输工具配置实现最大化的物料搬运产能，从而持续提升整个AMHS系统的性价比，实现未来半导体行业追求的系统级效能，是所有AMHS技术厂商需要思考的问题。

  据江汉贤介绍，自2018年深耕半导体领域以来，汇川便积极通过收并购与供应链协同等方式不断整合产业资源，同时作为芯片的深度用户，基于对终端性能需求的深刻洞察，能够精准指导前道设备的配置与工艺开发。在此过程中，汇川投资超过60家半导体企业，通过构建广泛的产业生态，联合众多伙伴在半导体器件领域开展深度工艺协同与创新，共同应对前道制造的复杂挑战。

  北京因泰立科技有限公司总经理高东峰谈到，针对AMHS在传感器方面存在的两大痛点——技术服务与供应链稳定、性能瓶颈与场景挑战，公司联合了长三角地区多家头部AMHS集成商，在最真实的洁净室环境中，对F80产品做了长达数月的深度联合测试，获得充分验证后，产品已投入实际场景应用。

  王宏玉认为，与用户紧密配合、共同开发，不仅是实现AMHS技术突破的高效路径，也是推动工程应用落地、促进双方持续成长的重要方式。他强调，“只有客户认可，技术突破才真正具备价值与希望”。为此，新施诺积极投入与客户的深度合作，不仅令客户获得了更贴合需求的解决方案，新施诺也在此过程中提升了技术实力与服务能力。尤其在面对高难度或“卡脖子”类技术挑战时，王宏玉强调必须与用户携手开展联合研发，共同攻坚克难。

  第一，国产化不等于低价竞争，而是价值对标。天车系统等设备国产化的目标不是成为最低价的选择，而是要实现与进口设备同等级的高稳定、高价值、高速度价值。

  第二，要构建稳定可靠的供应链。因泰立产品元器件国产化率已超90%。在选型中优先保证元器件的可靠性与耐用性，从而确保整个传输系统的稳定运行。

  第三，国产化的核心价值在于为客户降本增效。与国外同类传感器产品相比，我们一定要具备明确的成本效益优势，为客户创造切实价值。

  与软件设备，因泰立能快速响应客户的真实需求，持续与用户深度协同，共同进行定制化开发与创新。成川科技顾晓勇在AMHS国产化的道路上也取得了突破。“我们笃信实践驱动创新，示范项目与大规模量产之间有一定差距。只有通过真实量产环境的严苛检验，才能深刻理解生产线需求并验证AMHS的真正适配度。”顾晓勇说，成川科技坚持“从封测到晶圆”的发展路径，稳健地实现了从示范到量产的跨越。

  王宏玉最后强调，国内AMHS企业应该坚持长期主义，以客户为中心，用最新的技术赋能产品，逐步提升项目规模，这样才可以稳扎稳打做好产品。

  在本次活动尾声，江宏表示《物流技术与应用》杂志近30年来始终以促进行业进步为己任，致力于推动技术创新。我们坚信，AMHS国产化

  ，包括技术升级与服务响应。通过本次沙龙活动，期待半导体业界各方能够加强合作，集行业之智，汇产业之力，共同开启AMHS技术发展的新篇章。